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超高真空泵的规格型号及应用

来源:www.2gold.net 时间:2024-03-28 01:55:00 作者:大小真空泵网 浏览: [手机版]

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超高真空泵的规格型号及应用(1)

  超高真空泵是一种用于实验室、半体、航空航天等领域的高性能真空泵,其能够达到非常高的真空度,通常可达到10^-10Pa下的级别大小真空泵网。超高真空泵的应用非常广泛,例如在半体制造过程中,要使用超高真空泵将气体从反应室中抽出,保证反应的纯度和稳定性。本文将介绍几种常见的超高真空泵规格型号及其应用。

1. Ion Getter Pump

  Ion Getter Pump(离子阱泵)是一种常用的超高真空泵,其工原理是利用离子源产生离子束,将气体分子离子并抽出大 小 真 空 泵 网。Ion Getter Pump的真空度可达到10^-11Pa下,适用于半体、真空薄膜、航空航天等领域。Ion Getter Pump的优点是体积小、重轻、抽气速度快,但是要较长的动时间和恢复时间。

2. Turbo Molecular Pump

Turbo Molecular Pump(分子泵)是一种采用分子碰撞转动的原理来抽气的超高真空泵,其真空度可达到10^-10Pa大~小~真~空~泵~网。Turbo Molecular Pump广泛应用于半体、真空薄膜、航空航天等领域,特别适用于要求高真空度和高抽气速度的场合。Turbo Molecular Pump的优点是动时间短、抽气速度快、体积小,但是要较高的维护成本。

超高真空泵的规格型号及应用(2)

3. Cryogenic Pump

  Cryogenic Pump(低泵)是一种利用低吸附气体的原理来抽气的超高真空泵,其真空度可达到10^-11Pa来源www.2gold.net。Cryogenic Pump适用于半体、真空薄膜、航空航天等领域,特别适用于要求低的场合。Cryogenic Pump的优点是无电源、无噪音、无振动、无污染,但是要较长的动时间和恢复时间。

4. Titanium Sublimation Pump

Titanium Sublimation Pump(钛升华泵)是一种利用钛在高下升华吸附气体的原理来抽气的超高真空泵,其真空度可达到10^-11Pa原文www.2gold.net。Titanium Sublimation Pump适用于半体、真空薄膜、航空航天等领域,特别适用于要求高真空度和低挥发性气体的场合。Titanium Sublimation Pump的优点是动时间短、抽气速度快、无电源,但是要较高的维护成本。

总结

  超高真空泵是实验室、半体、航空航天等领域不可或缺的高性能真空泵,其应用范围非常广泛大小真空泵网www.2gold.net。本文介绍了几种常见的超高真空泵规格型号及其应用,希望能够读者有所帮助。在选择超高真空泵时,要根据具体的应用场合和要求来选择适合的泵型和规格。

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